扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，它通过扫描样本表面并探测反射的电子束，以产生高质量的表面图像。SEM 在材料科学、生物学、地质学、纳米技术等领域中得到广泛应用，因为它能够提供出色的表面形貌和微观结构的信息。
本文文章目录
1. 电子源 SEM使用电子束而不是可见光来照射样本。电子源通常是热阴极电子枪，它产生高能电子。
2. 准能滤波器 电子束会通过准能滤波器，以去除低能电子，只允许高能电子进入样本。
3. 样本台 样本台是一个支撑样本的平台，通常具有XYZ移动功能，以便对样本进行三维扫描。
4. 混合电子光学系统 这个系统包括透镜和电子光学元件，用于聚焦电子束，使其能够集中在样本表面的小区域上。
5. 扫描线圈 扫描线圈通过控制电子束的位置，使其能够在样本表面上扫描，以获取图像。
6. 检测系统 SEM使用不同的检测器来探测与样本表面交互作用的电子。常见的检测器包括二次电子检测器（SE）和反向散射电子检测器（BSE）。SE用于表面拓扑成像，而BSE用于获取有关样本组成和密度的信息。
7. 显示器和计算机 SEM生成的图像被传输到计算机上进行处理和显示。通常使用高分辨率的显示器来查看样本的细节。
**工作原理：** SEM的工作原理是将高能电子束聚焦到样本表面，然后扫描样本表面，测量不同位置的反射或散射电子。根据样本表面的性质，不同的电子将以不同的方式与样本交互，从而生成图像。SE检测器产生的图像显示出样本的表面拓扑，而BSE检测器则提供关于样本组成和密度的信息。
SEM的主要优点包括高分辨率、大深度视野、能够观察不导电样本、提供三维表面信息等。然而，SEM也有一些限制，例如需要样本导电性好、样本通常需要金属镀层、成像过程可能会损伤样本等。
总结：